韓国のメモリーチップメーカーSKハイニックス[000660:KS]と産業ガスメーカーTEMC[425040:KS]は、ネオンガスのリサイクル技術を共同開発し、チップ製造業界に画期的な進歩をもたらしたと、4月1日付の韓国経済新聞が報じた。この技術は、チップ製造の重要な工程であるリソグラフィに使用される排出ネオンガスをスクラバーで回収し、TEMCのガス処理プロセスで浄化して再利用するものである。現在、SKハイニックスは72.7%のネオン回収率を達成しており、近いうちに77%まで引き上げる計画である。同社はこのリサイクル技術により、ネオンガスの輸入依存度を減らすことを目指しており、年間400億ウォン（約3000万米ドル）の節約につながると期待されている。

ネオンは、特に半導体産業において重要なプロセスガスである。リソグラフィに使用されるエキシマレーザーや紫外線レーザーのバッファガスとして機能する。通常、チップメーカーはリソグラフィ工程で使用した後、ネオンガスを大気中に放出する。しかし、ウクライナは世界のネオンガスの半分以上を生産しているため、ロシアのウクライナ侵攻による生産の混乱がネオンガスの価格を高騰させている。ネオンガスの安定供給を確保するだけでなく、リサイクル技術の採用は、炭素集約的なチップ製造業界の脱炭素化にも貢献する。SKハイニックスは、この技術によって温室効果ガス排出量を年間1万2000トン削減できると見積もっている。さらに同社は、2025年までに重水素、水素、ヘリウム、硫酸など、チップ製造に使用される他のガスのリサイクル技術も開発する計画だ。

情報源

https://www.kedglobal.com/korean-chipmakers/newsView/ked202404010017

https://news.skhynix.com/sk-hynix-teams-up-with-local-partners-to-develop-pioneering-neon-gas-recycling-tech/