据《韩国经济日报》4 月 1 日报道，韩国内存芯片制造商 SK Hynix [000660:KS] 和工业气体制造商 TEMC [425040:KS] 联合开发了氖气回收技术，标志着芯片制造行业取得了突破性进展。该技术包括用洗涤器收集光刻（芯片制造的关键工序）过程中排出的氖气，然后利用 TEMC 的气体处理工艺将其净化后再利用。目前，SK Hynix 的氖气回收率已达到 72.7%，并计划很快将回收率提高到 77%。该公司的目标是利用这项回收技术减少对氖气进口的依赖，预计每年可节省多达 400 亿韩元（3000 万美元）。

氖是一种重要的工艺气体，尤其是在半导体工业中。它是光刻工艺中使用的准分子激光器或紫外激光器的缓冲气体。通常情况下，芯片制造商会在光刻工艺中使用氖气后将其释放到空气中。然而，由于乌克兰生产全球一半以上的氖气，俄罗斯入侵乌克兰造成的生产中断使氖气价格飙升。除了确保稳定的氖气供应，采用回收技术还有助于碳密集型芯片制造行业的去碳化。SK 海力士预计，这项技术每年可减少 12,000 吨温室气体排放。此外，该公司还计划在 2025 年前开发出芯片制造中使用的其他气体的回收技术，包括氘、氢、氦和硫酸。

资料来源

https://www.kedglobal.com/korean-chipmakers/newsView/ked202404010017

https://news.skhynix.com/sk-hynix-teams-up-with-local-partners-to-develop-pioneering-neon-gas-recycling-tech/